等離子廢氣處理是利用等離子體降解有機廢氣，消除惡臭，殺滅細菌、病毒，凈化空氣，這項技術的關鍵是以高壓脈沖介質阻擋放電的形式產生大量的活性電離氧，使氣體產生各種活性自由基，如?OH、?HO2、?O等，苯、甲苯、有機廢氣經歷復雜的過程，降解、氧化、副產物等理化反應無毒，避免二次污染。該技術具有能耗低、占地面積小、操作維護簡單等特點，適用于各種成分的有機氣體的處理。